1 范围

      本标准规定了电子工业企业防尘防毒的技术要求、措施和管理。

      本标准适用于电子工业企业生产过程中粉尘、毒物危害的工程技术和管理防范，也适用于安全生产 和职业病危害监督管理部门对电子工业企业生产过程中粉尘、毒物危害的监督。

2 规范性引用文件

      下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

      GB 8958 缺氧危险作业安全规程

      GB 11651 劳动防护用品选用规则

      GB 11984 氯气安全规程

      GB 15603 常用化学危险品贮存通则

      GB/T 16758 排风罩的分类及技术条件

      GB 17916 毒害性商品储藏养护技术条件

      GB 50019 采暖通风与空气调节设计规范

      GB 50073 洁净厂房设计规范

      GBZ 1 工业企业设计卫生标准

      GBZ 2.1 工业场所有害因素职业接触限值 化学有害因素

      GBZ 158 工作场所职业病危害警示标识

      AQ/T 9002 生产经营单位安全生产事故应急预案编制导则

      SJ 30002 电子工业职业安全卫生设计规定

3 总则

3.1 为了有效地控制电子工业企业生产过程产生的粉尘、毒物危害因素，改善作业场所环境条件，保障 职工身体健康，促进生产发展，特制定本标准。

3.2 电子工业生产过程防尘防毒应坚持预防为主、防治结合、源头控制、过程可控、综合治理的原则，优 先选择尘毒危害小的工艺和设备，积极采用无毒或低毒原（辅）料，以无毒代替有毒、以低毒代替高毒，并 对尘毒危害进行综合治理，使其危害控制符合GBZ 2.1要求。

3.3 电子工业生产过程防尘防毒工作应持续改进，不断降低作业场所尘毒物质浓度。

3.4 电子工业企业建设项目中产生尘毒危害的生产过程和设备应设置防尘防毒设备设施，且与主体工 程同时设计、同时施工、同时投入生产和使用。

4 生产工艺基本要求

4.1 电子工业企业应对整个生产过程中的粉尘、毒物危害进行辨识和评估，明确所有产生粉尘、毒物的 作业场所、工艺过程、设备及原（辅）料、中间产品、副产品，并建立职业卫生档案。

4.2 产生粉尘、毒物的作业场所、工艺过程、设备设施在设计时应符合GBZ 1中第5.1节以及 SJ 30002的要求。

4.3 防尘防毒设备设施应保证作业场所中有害物质浓度符合GBZ 2.1的要求。在厂房气象条件、洁 1 净度要求与防尘防毒措施有矛盾时，应采取其他措施，保证作业人员健康。

4.4 下列工艺过程可能产生粉尘、毒物危害，应采取综合治理措施：

      a）半导体器件（或集成电路）生产中的外延、氧化扩散、化学气相沉积、离子注入、腐蚀、清洗、刻 蚀、溅射、塑封等工序。

      b）真空器件零件清洗、阴极热丝制备、涂屏、充汞等。

      c）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工艺等。

      d）铸造、热处理、电火花加工、磨削加工、化学处理、电镀、喷砂、油漆、涂装工艺等。

      e）铅蓄电池等含铅生产工艺。

      f）电阻、电容等元件生产及印刷电路板（PCB）生产。

      g）电子装联工艺中的焊接、三防、固封工序等。

4.5 当作业场所空气中的尘、毒在技术上较难控制时，宜采取以下措施：

      a）设置密闭操作室，保证新鲜空气供应量不少于每人30 m³/h。

      b）采用送风面具或岗位送风。

      c）送入空气应符合相关标准的要求。

4.6 在选择生产工艺时，设计者和设备供应商应提供粉尘、毒物产生情况说明及控制措施技术文件，原（辅）料供应者应提供原（辅）料尘、毒危害技术说明文件、执行标准文件等。上述文件均应存档。

5 生产厂房

5.1 选址

      生产厂房应选择在环境空气质量、气象条件符合职业安全卫生要求、环境较为清洁的地区。

5.2 布局

5.2.1 厂区应合理布局，减少粉状物料的运输距离及中转次数，避免不合理的交叉和重复运输。

5.2.2 产生尘毒危害的生产区宜集中布置在厂区夏季最小频率风向的上风侧，且地势开阔、通风条件良好的地段。

5.2.3 生产区内部布置应避免尘毒的交叉污染。

5.2.4 产生尘毒危害的工序或工作区（间）若在同一建筑物内，宜集中在靠近夏季最大频率风向下风侧的外墙布置，应与其他工序或工作区（间）可靠地隔开。

5.2.5 有毒物质、粉料输送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜设置在人员集中区域周边。有毒物质、粉料输送管道不应穿越办公室、休息室、宿舍、人员密集厂房、餐厅、经常有人来往的通道（含地道、通 廊）等建筑物。

5.2.6 密闭厂房进气口的位置不应设置在有毒、粉尘物质排放口污染影响区域内,且应保证在最不利气象条件下进气口不受到排放口有毒、粉尘物质的影响。

5.3 建（构）筑物

5.3.1 厂房结构应充分考虑防尘防毒的要求。内部结构应有足够高度以布置管道，且有利于清除积尘。粉尘污染严重的厂房，应留有真空清扫机具行走的通道。

5.3.2 使用、产生剧毒物质的作业场所，其墙壁、顶棚和地面等内部结构和表面，应采用不吸收、不吸附 毒物的材料，宜加设保护层以便清洗。车间地面应平整、防滑、易于清扫。经常有积液的地面应做防水 处理并设置坡向排水系统。

5.3.3 对于多层厂房，产生有害气体的场所宜布置在建筑物的上层。如必须布置在下层时，应采取安装有效通风、防毒设备设施等措施，以防止对上层作业环境造成不良影响。

5.3.4 洁净厂房采用的室内装修材料，其有害物质散发量应符合国家相关规定，不宜使用对人身体有害的石棉类建筑材料。

6 工程技术措施

6.1 材料储存与运输

6.1.1 采用自动化设备，实现物料的自动装载、泄漏检测、连锁控制，以避免或减少有害物质的散发。

6.1.2 采用密闭性好的输送装置，如气力输送、斗式提升机、螺旋输送机、溜管、溜槽等。

6.1.3 改进工艺，减少粉、粒料的中转环节，缩短输送距离。

6.1.4 减少散装粉、粒料转运点的落差高度，并对落料点采取密闭、负压等措施。

6.1.5 经常有人来往的通道（含地道、通廊），应有自然通风或机械通风，不应敷设有毒液体或有毒气体 管道。

6.1.6 对尘、毒物品的运输、储存、分配应采取下列防范措施：

      a）在工作区内装卸散装的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、黏土等粉、粒料，不宜使用抓斗吊车、翻斗 车及卡车。允许洒水降尘的装卸区域，应设置洒水设施，洒水设施应保证冬季的正常使用。

      b）有毒物品应储存在专门的场所、库房中，其贮存条件、贮存方式、贮存限量应符合GB 15603、 GB 17916的规定。

      c）储存气态有毒物质的场所应设置有效的气体排放应急处理设施，以避免发生毒气泄漏事故时 造成毒气扩散。相互抵触的气态物质储存容器应分室储存，并有可靠措施避免泄漏时发生 反应。

      d）储存液态有毒物质的场所应设置围堰或导流槽（沟），围堰的容积应不小于最大单罐地上部分 储量。从围堰或导流槽（沟）引出的排水（排污）管（沟）应汇集到专用的污水池。相互抵触的液 态物质储存容器应分别设置围堰或导流槽（沟）、排水（排污）管（沟）、污水池，并有可靠措施避 免同时发生泄漏时散发出的气态物质发生反应。

      e）存放粉粒状或毒性材料的容器，应具有良好密闭性和耐蚀性。

      f）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特种气体的储存间和配送管道廊内应设置 在线气体检测报警装置并与事故排风及废气处理装置连锁。氦气、六氟化硫等窒息性特种气 体储存间和配送管道廊内应设置在线氧气检测报警装置并与新鲜空气送风装置连锁。

      g）储存和使用氰化物、砷化物等剧毒物品的库房、工作间，其墙壁、顶棚和地面应采用不吸附毒物 的材料，并便于清洗和收集。室内管线宜暗敷。分发毒物处应设置洗涤池和通风柜。

      h）液氯罐储存间应设置在线氯气报警装置并与事故排风及废气处理装置连锁，排放系统吸气口 位置应靠近地面。储存间内应设置起重设备及稀碱液池，其深度应能浸没液氯罐，或配备氯气 捕消器，并符合GB 11984的要求。

      1）危险化学品在洁净厂房内的运输、储存、分配，应符合国家相关规定。

      j）对上述条款中未包括的尘、毒物品的运输、储存、分配应参照有关规范、条文要求，采取相应的 防范措施。

6.2 工艺与设备

6.2.1 生产工艺与设备宜采取密闭（整体密闭、局部密闭或小室密闭）或负压方式工作。不能密闭时， 应设置排风罩。

6.2.2 在生产设备合理密闭和通风的基础上宜采取隔离、遥控操作。

6.2.3 生产线上的单台通风系统工艺设备宜集合成密闭的工艺系统。

6.2.4 对存在剧毒且难以消除其危害的工艺过程，应通过采取全自动化生产或遥控操作等措施，实现 人与危害现场的隔离。

6.2.5 生产过程中产生的剧毒气体应进行机旁无害化处理后再排入公共排气管道系统。

6.3 操作

6.3.1 密闭空间进行检修时，应为检修人员配备符合要求的个人防护用品，并配备现场监护人员。

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